各有关单位：
　　为推动我国集成电路制造产业的发展，提升我国集成电路制造装备、工艺及材料技术的自主创新能力，充分调动国内力量为重大专项的有效实施发挥作用，国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”根据实施方案和“十二五”实施计划，安排一批拟于2013年启动的项目在全国公开发布，通过竞争择优方式选择优势单位，组织产学研用联盟承担项目。
　　一、 项目申请范围
　　根据附件1列出的项目指南说明，进行项目申请，编制《项目申报书》。
　　二、 项目申报与组织方式
　　由专项实施管理办公室组织，指南通过科技部、北京市经信委、上海市科委网站公开发布。
　　申请单位编制项目申报材料，由行业主管部门或各省（计划单列市）科委（厅、局）汇总后统一报送专项实施管理办公室。汇总上报的主管部门需出具正式呈报公函（含项目清单、申报概算表）和落实地方资金的承诺。
　　专项实施管理办公室对各地方（部门）申报项目进行汇总后，由专项总体组组织专家进行申请材料初审，筛选符合指南要求的单位提交专项办公室，由专项办公室组织评审委员会进行正式评审和重点项目复审，依据评审结果择优委托主承担单位，在专项总体组指导下组织产业联盟和产学研用联盟承担项目。
　　三、 项目申报单位基本要求
　　1、 在中国境内注册的中资控股企业，注册资本为申请国拨经费的10%以上。
　　2、 具备独立法人资格的科研院所和高校等事业单位。
　　3、 同一单位本次主承担项目原则上不超过2项。同一个人负责项目及下设课题/子课题不能超过1项，参与项目不能超过1项。
　　四、 资金集成要求
　　有资金集成要求的项目，需由地方政府或行业主管部门按照指南要求比例提供出资承诺。最终金额以项目立项后财政审核批复预算为依据。
　　五、 报送要求
　　每个项目报送《项目申报书》纸质材料一式20份（具体要求见附件2）及电子版（光盘）1份（格式见附件3），以及其它材料（见附件4）。
　　六、 联系方式
　　联系人：张国铭、高华东、李言旭
　　联系电话：010－51530051，51530052
　　电子邮件：gaohuadong@sevenstar.com.cn
　　通讯地址：北京市海淀区知春路27号（大运村）量子芯座集成电路设计园403室
　　邮　 编：100191
　　七、 截止时间
　　2012年6月15日17：00前送达专项实施管理办公室。

“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”国家科技重大专项
　　　 实施管理办公室
　　　　 二О一二年五月二十三日